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蔡司三坐标的红宝石表面接触测试，但软件得到球中心数据，然后软件根据探头补偿给出实际值。前者在装配前进行补偿。后者是相反的。
例如，平面拟合，通过多个点的拟合：在测量每个点后，进行探头半径补偿，并将球中心点补偿到工件表面；对每个点重复上述步骤。然后，用小二乘法计算补偿到工件表面的所有点。缺点：各部分都有余弦误差，特别是曲率变化较大的区域。
平面和直线可以理解为曲线和曲面的特殊形式。表面越直，两种方法的差别越小。对于曲率变化明显的曲面，的拟合再补偿精度应得到更大的保证。不建议使用PC-DMIS构造曲线和曲面，因为有许多处理方法。PC-DMIS在这方面的计算还不够全面和专业。它是一个专业的测量软件。本文讨论的两种方法都是针对如何准确测量并获得准确的测量值而提出的，相反，面积扫描的计算方法类似于拟合再补偿，可以提高表面扫描中获得测量点的精度。
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