蔡司三坐标CONTURA精度最高1.5μm,来自蔡司的灵活、可靠和优秀的品质保证测量平台。最新一代测量机精度更高,可兼容多种光学式探头,从而实现更广的测量范围。优异的测量技术、蔡司CALYPSO测量软件以及高度优化的通用测量程序令CONTURA成为同类测量机中的标杆之作。
蔡司三坐标CONTURA精度和测量范围:
1.5μm + L/350 (7/7/6 and 7/10/6)
1.6μm + L/350 (9/12/8 and 9/18/8)
1.7μm + L/350 (10/12/6 and 10/16/6)
2.1μm + L/350 (12/18/8 and 12/24/8)